影响扫描电镜分辨率的4个基本要素?

sem扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法它可以直接利用样品表面材料的材料特性进行显微成像。放大倍数较高，可连续调整20至20万倍;景深大，视野大，成像立体感强可直接观察各种样品不均匀表面的细微结构;试样制备简单。

影响扫描电镜的分辨率的主要因素有:

入射电子束光斑直径:SEM扫描电镜分辨能力一般来说，热阴级电子枪的束斑直径可以减小到6nm，场发射电子枪可以使束斑直径小于3nm。

入射电子束在样品中的膨胀效应：扩散程度取决于入射电子的能量和样品的原子序数束流能量越高，样品的原子序数越小，电子束的相互作用体积越大，信号产牛区域随电子束的扩散而增大，从而降低了分辨率。

使用的成像方式和调制信号:当二次电子作为调制信号时，由于其能量低，平均自由程短只有表面50-100nm范围内的二次电子才能从样品表面逸出，散射次数非常有限基本上不向侧面延伸，所以二次电子像的分辨率大约等于束斑直径。当后向散射电子作为调制信号时，由于其能量高，穿透性强，可以从样品较深的区域洮逸(约为有效效应的30%深度)。在深度范围内，入射电子横向扩展，因此背散射电子像的分辨率比二次电子像的分辨率低，一般在500-2000nm左右。如果将吸收电子，X射线，阴级发光，束流诱导电导或电位作为调制信号的其他工作模式，由于信号来自整个电子束散射区，因此获得的扫描图像的分辨率相对较低，一般在1000纳米或10000纳米以上之间。

景深是指焦点前后的距离范围该范围内所有物体所形成的图像均满足分辨率要求;也就是说景深是一个清晰可见的距离范围。sem扫描电镜的视场深度是透射电子显微镜的10倍，是光学显微镜的数百倍。由于图像景深较大，得到的扫描电子图像具有很强的三维感。

上述4点内容就是小编介绍的影响扫描电镜分辨率的4个因素。对于扫描电镜还有什么其他的问题，您可以网站直接留言或是直接拨打4001-123-022进行咨询。下期关于扫描电镜的内容再见！