SEM扫描电镜的分类介绍

SEM扫描电镜，即扫描电子显微镜，是一种利用聚焦的高能电子束扫描样品表面，通过激发和收集物理信息，对物质微观形貌进行表征的精密仪器。其分类可以从多个角度进行，以下是从电子枪种类和扫描方式两个主要角度的分类介绍：

一、按电子枪种类分类

钨灯丝扫描电镜

特点：使用钨丝作为电子发射源，通过热发射方式产生电子束。钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大，抗干扰能力和稳定性都较好，低真空下可以对不导电样品无荷电成像。

应用：适合大量的常规检测，广泛应用于材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域。

场发射扫描电镜

特点：具有高分辨率，可分为冷场发射和热场发射两种。冷场发射扫描电镜的电子束直径*小，亮度*高，影像分辨率*优，但真空条件要求高，束流不稳定，发射体使用寿命短。热场发射扫描电镜则能在较差的真空度下操作，维持较佳的发射电流稳定度，连续工作时间长，还能与多种附件搭配实现综合分析。

应用：冷场发射扫描电镜主要用于材料科学、化学领域的分析；热场发射扫描电镜则广泛应用于物理学、材料科学、能源科学技术等领域的微观研究和分析。

六硼化镧扫描电镜

特点：使用六硼化镧作为电子发射源，亮度比钨丝高，使用寿命也较长，但需要在较好的真空环境下操作。

应用：因其性能介于钨灯丝和场发射之间，所以在某些特定领域也有应用。

二、按扫描方式分类

点扫

特点：对样品的某一位置进行微区元素分析，扫描能谱的面积较小。

应用：用于测试样品某一点位置上的形貌及能谱信息。

线扫

特点：与点扫类似，但扫描能谱的面积相对较大，适用于对样品某一条线位置上的形貌及能谱信息进行测试。

面扫

特点：对样品某一面上的形貌及能谱信息进行全面测试，可以获得更全面的元素分布信息。

应用：广泛应用于各种需要全面了解样品表面形貌和元素分布的领域。

此外，还有一种特殊类型的扫描电镜——环境扫描电镜，它采用多级真空压差技术，可以在较高的气压、湿度和压力下工作，特别适用于观察新鲜活体生物样品等需要保持样品原始状态的场景。

综上所述，SEM扫描电镜的分类多种多样，不同类型的扫描电镜在性能和应用上各有特点，用户可以根据具体需求选择合适的类型进行使用。