SEM扫描电镜的制样原则介绍

扫描电镜的制样原则主要涉及样品的准备、处理以及确保样品在扫描过程中能够稳定、清晰地呈现其形貌和结构。以下是详细的制样原则介绍：

一、样品基本要求

物理性质：样品应为固体，无毒、无放射性、无污染、无磁、无水，且成分稳定。

导电性：样品需具有一定的导电性，以便将电子束引入样品并将多余的电荷导出，避免荷电效应导致的图像失真或模糊。对于非导电样品，需进行导电处理，如镀金、镀碳等。

尺寸与形状：样品的尺寸B须适合放入样品室，一般不超过10 cm x 10 cm x 5 cm，且表面要尽可能平整，以便进行电子束的聚焦和扫描。

二、制样方法

固定：

粘贴法：使用导电胶带或导电胶水将样品粘贴在金属或碳质的样品台上，适用于块状或片状的样品。

夹持法：使用金属或碳质的夹具将样品夹持在样品台上，适用于不规则或较大的样品。

嵌入法：使用树脂或蜡等材料将样品包埋在一个固定的形状中，适用于颗粒状或液体状的样品。

切割与研磨：

将样品切割成合适的尺寸和形状，以便进行后续的制样处理或直接放入扫描电镜中观察。

使用砂纸或砂轮等磨料将样品表面磨平，去除表面的粗糙、划痕、氧化层等缺陷。

抛光：

使用抛光布或抛光液等抛光剂将样品表面抛光，进一步减少表面的形变层或应力层。

镀膜：

在样品表面覆盖一层薄膜，以提高样品的导电性，并改善表面形貌或结构。常用的镀膜方法有真空蒸发法和化学气相沉积法。

干燥：

去除样品中的水分或其他挥发性物质，以便进行后续的制样处理或直接放入扫描电镜中观察。常用的干燥方法有烘干法、冷冻干燥法和临界点干燥法等。

三、特殊样品处理

粉末样品：

可以直接固定在导电胶带或液体导电胶上，注意控制撒样品的时间点，使样品达到半浸没状态。

对于团聚严重的粉末样品，可将其混合在易挥发溶剂中配成悬浊液，然后滴加在载体上干燥。

生物样品：

由于生物样品具有含水量高、质地柔软、导电性差等特点，制样过程较为复杂。一般包括取样、清洗、固定、脱水、干燥、粘样和导电处理等步骤。

四、注意事项

避免污染：在整个制样过程中，应尽量避免样品被污染，以保证观察结果的准确性。

保护样品：在制样过程中，应小心操作，避免对样品造成物理或化学损伤。

导电处理：对于非导电样品，B须进行导电处理，以提高样品的导电性，避免荷电效应。

样品代表性：选取的样品应具有代表性，能够反映整体材料的性质。

综上所述，SEM扫描电镜的制样原则涉及样品的物理性质、导电性、尺寸与形状要求，以及制样方法的选择和操作。通过遵循这些原则，可以确保样品在扫描过程中能够稳定、清晰地呈现其形貌和结构。