SEM扫描电镜在使用中经常遇见的问题有那些？

扫描电镜在使用中经常遇到的问题主要包括但不限于以下几个方面：

1. 图像显示问题

无图像显示：这可能是由于电源未连接正常、计算机连接错误、驱动程序未安装或电子束管电流和电压设置不正确等原因导致的。

图像模糊：可能由试样台和透镜的灰尘、电子枪聚焦和透镜设置不当、加速电压设置不合适或试样台不平稳引起。

图像偏斜或倾斜：这通常与试样台的水平度、移动稳定性或计算机连接的稳定性有关。

图像亮度不均匀：电子枪亮度设置不当、透镜和投影系统的污垢或缺损以及电子束的开启时间和扫描速度设置不合适都可能导致此问题。

2. 样品问题

样品飘移：这可能是由于样品固定不牢固、导电性较差、电子束辐照导致导电胶收缩或样品未充分干燥等原因引起的。样品飘移会严重影响图片的拍摄和能谱分析。

样品截面制样：对于不同类型的样品（如脆性薄片、高分子聚合物等），需要采用不同的制样方法，如液氮脆断、离子切割或冷冻超薄切片等，以确保获得高质量的截面图像。

3. 电磁干扰问题

电磁干扰或波纹：SEM扫描电镜设备可能受到其他电磁干扰源（如高频设备）的影响，导致图像中出现干扰或波纹。此时，需要将扫描电镜设备与其他电磁干扰源保持一定距离，并确保电源线正确接地。

4. 设备操作与维护问题

操作不当：如调焦时不慎使物镜碰到试样、在载物台垫片圆孔中心位置远离物镜中心时切换物镜等，都可能对设备造成损害。

设备维护：非专业人员不应随意调整显微镜照明系统（如灯丝位置），以免影响成像质量。更换卤素灯时需注意高温，避免灼伤，并确保不直接用手接触卤素灯的玻璃体。设备不使用时应及时关掉电源，以延长设备寿命。

5. 数据解释问题

元素分布图的噪点：在EDS（能量色散光谱仪）测试中，即使某些元素在样品中的含量很低或为零，mapping元素分布图中也可能出现噪点。因此，在解释数据时，应以定量数据为准。

6. 样品导电性问题

不导电样品的处理：在SEM扫描电镜测试中，不导电的样品需要进行导电处理（如喷金、喷铂或喷碳），以避免充电和放电效应对形貌图观察和拍照记录的影响。然而，这些导电层可能会影响EDS测试中对其他元素的能谱分析。

综上所述，扫描电镜在使用中可能会遇到多种问题，这些问题涉及图像显示、样品处理、电磁干扰、设备操作与维护以及数据解释等多个方面。为了获得高质量的测试结果，用户需要熟练掌握SEM扫描电镜的操作技能，并严格按照操作规程进行操作和维护。