SEM扫描电镜无图像故障的原因以及解决办法介绍

扫描电镜无图像故障的原因及解决办法可以归纳如下：

原因分析

电源控制系统故障：

表现为扫描电镜停机后再开机无反应，SEM扫描电镜各指示灯均不亮。

具体原因可能是电源控制部分出现故障，如保险丝烧坏、隔离变压器损坏等。

高压系统故障：

表现为灯丝无法开启。

可能原因是高压箱未识别，高压箱上没有电压输入。

光学系统问题：

扫描电镜的光学系统包括电子透镜和扫描线圈，如果其中任何一个部件出现问题，都可能导致无法显示图像。

探针电流问题：

SE2模式需要足够的探针电流来产生图像，如果探针电流不足，可能会导致无法显示图像。

检测器问题：

SE2模式的检测器通常是反射电子检测器，如果检测器出现问题，可能会导致无法显示图像。

信号处理问题：

SE2模式的信号需要通过放大器和信号处理电路来处理和显示，如果这些电路出现问题，可能会导致无法显示图像。

仪器操作和环境因素：

如放入的样品受潮或送样杆污染引起样品交换室发生稍微漏气，导致抽真空速度很慢。

显微镜镜头可能出现问题，如镜头污染或损坏。

解决办法

电源控制系统故障：

检查保险丝并更换。

检查隔离变压器，如损坏则更换或接入220V交流转24V直流的开关电源。

高压系统故障：

检查高压箱的光纤和电源输入部分。

更换或修理高压箱供电的开关电源。

光学系统问题：

清洁或更换电子透镜和扫描线圈。

探针电流问题：

检查探针电流是否正确，并调整至适当值。

检测器问题：

清洁或更换检测器。

信号处理问题：

检查放大器和信号处理电路，修理或更换损坏的部件。

仪器操作和环境因素：

取出样品，用红外灯烘烤，检查抽真空速度。

清洁送样杆，并涂上真空油脂。

检查sem扫描电镜镜头，如有污染或损坏则进行清洁或更换。

以上内容仅作为参考，具体故障分析和解决办法需要根据实际情况进行，建议咨询专业的技术人员或参考相关操作手册。