SEM扫描电镜的工作模式有那些？

SEM扫描电镜的工作模式主要包括以下几种：

次外壳成像模式（SEI）：在此模式下，SEM通过探测下方产生的二次电子和表面的次电子，形成次表面成像。这种模式可用于研究样品表面的形貌特征，如表面粗糙度和形态。

高角度底层成像模式（BSE）：当在样品表面装上低原子数的薄膜时，使用BSE模式可以观察到带有原子序数反比于信号强度的图像。BSE信号主要来源于高能电子与样品中的原子作用，因此成像亮度相对较高，适用于研究材料表面显微组织结构的表征。

散射电子成像模式（SED）：散射电子成像可能涉及从样品中发出的慢电子（低能散射）或快电子（高能散射）。这些电子的强度与原子序数成反比，因此可以用来显示材料的组织结构、缺陷和晶界面等信息。

反射电子成像模式（RSE）：在正常操作模式下，电子束顶部的接近水平方向，从而进行成像。

除了上述的成像模式，SEM还有以下基本工作模式：

高真空模式：这是SEM的基本工作模式，其中样品和检测器被置于真空环境中，以减少电子束与气体的相互作用，从而提供清晰的图像和较高的分辨率。这种模式适用于大多数样品观察和分析，特别是固态样品。

低真空模式：允许在较高的气压下进行观察，而无需对样品进行涂覆或处理。这种模式提供了更高的样品适应性，并减少了电子束与气体相互作用产生的充电效应。

某些SEM设备还具备其他先进的工作模式，如：

透射电子显微镜模式（TEM）：允许使用透射电子探测器进行样品的透射电子显微观察，提供更高的分辨率和更详细的样品内部信息，适用于纳米级别的结构和成分分析。

扫描透射电子显微镜模式（STEM）：这种模式将电子束扫描到样品上，同时收集透射电子的散射信号，用于样品表面的高分辨率成像和元素分析。STEM模式在高分辨率成像和原子级结构分析方面具有很高的能力。

这些工作模式使得SEM扫描电镜能够适用于多种不同的研究需求和应用场景，从表面形貌分析到内部结构研究，都能提供精确而详细的数据。如需更具体的信息，建议查阅相关设备的技术手册或咨询专业技术人员。