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SEM扫描电镜的5个操作技巧介绍

日期:2024-02-22 09:40:57 浏览次数:41

扫描电镜的操作技巧主要包括以下几个步骤:

1、样品制备:样品需要是固体、无毒、无放射性、无污染、无磁、无水,并且成分稳定。根据样品的种类和所要的结果,选择合适的制样方法。例如,对于块状样品,低倍率观察可以使用导电胶带,而高倍率观察则需要使用液体导电胶。对于粉末样品,可以直接固定在导电胶带或者液体导电胶上。同时,需要确保样品在样品台上对应正确的编号,以避免观察错误。

扫描电镜.jpg

2、开电子枪:在开电子枪之前,需要先设定电子枪的发射电压。电压越大,产生的电子束流的能量越强,分辨率越高,视野越明亮。然而,对于导电性较好的样品,高电压只会使视野白茫茫一片,而对于导电性不好的材料,则可以适当增加电压以使视野更清晰。一般来说,使用10~20keV的电压。设置好电压后,就可以点击开电子枪按钮,听到SEM扫描电镜内部有声音回应就表示开枪成功。

3、设置光斑尺寸:光斑尺寸的调整可以影响到图像的分辨率和清晰度。

4、调整工作距离:工作距离的选择会影响到电子讯号的接收和分辨率。较短的工作距离可以得到较高的分辨率,但景深会缩短;较长的工作距离则可以得到较长的影像景深,对于表面起伏较大的样品可以得到较均匀清晰的影像。

5、选择适当的侦测器:侦测器的选择也会影响到图像的质量和清晰度。

在操作扫描电镜时,还需要注意一些事项,例如避免震动和磁场干扰、保持样品室的清洁、定期检查和维护设备等。

以上是SEM扫描电镜的基本操作技巧介绍,具体操作可能会因设备型号和实验需求而有所不同。因此,在实际操作中,建议参考扫描电镜操作手册和实验指南,以确保操作的准确性和安全性。