SEM扫描电镜的种类介绍
日期:2024-01-18 09:35:53 浏览次数:38
SEM扫描电镜即扫描电子显微镜,是一种常用的材料分析设备。根据使用电子枪种类不同,扫描电镜可以分为钨灯丝扫描电镜、场发射电子枪扫描电镜和六硼化镧灯丝扫描电镜。其中,钨灯丝扫描电镜是使用*普遍的,具有抗干扰能力强、稳定性好的优点,适合形貌观察、显微结构分析和断口形貌分析等应用。而场发射电子枪扫描电镜则分为冷场发射和热场发射两种,其中热场发射扫描电镜具有连续工作时间长、能与多种附件搭配实现综合分析等优点,应用广泛。
此外,SEM扫描电镜在追求高分辨率、高图像质量发展的同时,也向复合型发展,即成为把扫描、透射及微区成分分析、电子背散射衍射等结合为一体的复合型电镜,实现了表面形貌、微区成分和晶体结构等多信息同位分析。
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