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扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)在原理、构造、工作模式、表征功能、优缺点等

日期:2023-12-25 22:09:29 浏览次数:121

以下是扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)在原理、构造、工作模式、表征功能、优缺点等方面的比较:

  1. 基于的原理:

  • SEM:利用聚焦的电子束扫描样品,通过电子与样品的相互作用产生各种效应(如二次电子、背散射电子等),收集这些效应转换为图像。

  • TEM:利用高能电子束透射样品,通过电子束与样品的相互作用产生的衍射花样和透射像进行观察和分析。

  1. 基本构造:

  • SEM:电子枪、聚光镜、扫描线圈、样品台、检测器等。

  • TEM:电子枪、聚光镜、物镜、光阑、样品台、检测器等。

  1. 工作模式:

  • SEM:通常采用恒电流或恒电压模式,通过控制扫描速度和加速电压获取不同分辨率的图像。

  • TEM:通常采用恒电流模式,通过控制加速电压和光阑孔径获取不同分辨率的图像。

  1. 主要表征功能:

  • SEM:观察样品的表面形貌、元素分布等。

  • TEM:观察样品的晶体结构、微观形貌、晶格条纹等。

  1. 优缺点:

  • SEM:优点在于可观察样品的表面形貌和元素分布;缺点在于分辨率相对较低,对样品厚度和导电性要求较高。

  • TEM:优点在于可观察样品的晶体结构和微观形貌;缺点在于样品需要切成薄片,制样难度较大,且对样品厚度和导电性要求较高。

总的来说,SEM和TEM在原理、构造、工作模式、表征功能和优缺点等方面存在差异,各有其适用范围和限制。根据研究需求选择合适的显微镜是关键。

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