光学仪器小知识之SEM扫描电镜是什么？如何使用扫描电镜？

扫描电镜的全称是扫描电子显微镜，它可以用来观察被检测物体的细微之处、成像，这一点和显微镜有相似之处。SEM扫描电镜是通过电子束扫描被检测物品的表面进而产生被检测物品表面的图像。

扫描电镜有一个电子发射枪，从枪中会发射出加速、聚焦过的电子，在用这些电子来撞击样品。样品在受到撞击后会产生如同水波一般的信号，另一个接收器会用来接收这些信号。这些信号有许多不同的种类，不同的信号有不同的用途，可以对样品多个方面的表现进行检测。因此，SEM扫描电镜除了可以成像外，还可以用来分析样品的成分形貌，对样品的元素进行分析。

扫描电镜的分辨率比显微镜的分辨率高得多，能够将物品放大20万倍。SEM扫描电镜的视野广阔，其形成的图像有很强的立体感，可以观察到凹凸不平的细微结构。

目前研制出的扫描电镜种类有很多，按照结构和用途进行划分的话大概有6种，其中包括常见的典型扫描电镜、还有扫描透射电镜、场发射扫描电镜、冷冻扫描电镜、扫描隧道电镜、原子力显微镜等。

随着科技的不断发展，扫描电镜的研制技术也在不断进步，越来越多的人了解到SEM扫描电镜，其已经从高等级的研究发展变成了被广泛使用的测试手段，应用范围涉及到各行各业，其中包括生命科学、材料科学、食品科学、化学、电子学等学科，还运用到了陶瓷行业、化工行业、半导体行业等生产部门。

扫描电镜功能强大，在使用时要仔细按照使用方法操作，要牢记使用注意事项：

1、 SEM扫描电镜的样本B须要很薄，样品太厚在图像中会显得比较暗，图像对比不明显，成像立体感就不会很强。

2、 扫描电镜不显示图像时，先要检查高真空指示灯是否亮，真空正常时再去判断显示和放大电路是否正常，再接着检查光电倍增管，如果都是正常的，就只需要检查和镜筒有关电路即可。

3、 倍率偏移情况出现时，容易带来图像的不稳定，发生此项故障大都是电气线路上的问题，对此进行排查处理即可。

4、SEM扫描电镜对被检测样品的处理要求比较严格：被检测样品一定要有干净的表面；被检测样品整体B须彻底干燥；标记物品的标记物一定要有形状以便识别。

扫描电镜的使用过程虽然比较繁琐，并且在使用过程中由于使用器件质量的差异、环境的异同等可能会产生许多故障，但只要按照使用方法进行分析，能够比较快地进行处理。