你知道为什么SEM扫描电镜需要真空环境
日期:2023-11-09 13:42:10 浏览次数:72
扫描电镜需要处于真空环境的原因有以下几点:
减少电子散射:在真空中,减少了电子束与气体分子的相互作用,这有助于减少电子的散射,提高成像的分辨率和清晰度。在大气压力下,电子会与气体分子发生散射,使图像变得模糊。
电子束的传输:SEM扫描电镜使用电子束来扫描样品表面,而电子束在大气中会与气体分子相互碰撞,导致电子的散射和吸收,从而影响成像质量。在真空环境中,气体分子的密度较低,几乎没有碰撞,电子束可以更容易地穿透到样品表面。
避免沉积和污染:在真空环境中,避免了空气中的微粒和气体分子沉积在扫描电镜的透镜、样品表面或探测器上,减少了系统的污染和修复需求。
防止样品气化:在高真空下,防止样品因受热而气化。当电子束扫描样品表面时,样品表面可能会因加热而释放出气体或蒸发,这会导致成像的干扰和失真。在真空环境中,这种现象得到减轻。
电子束对真空管的稳定性:扫描电镜中的电子光源通常是由热阴极或场发射极产生的,这些光源需要在真空条件下稳定运行。
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