SEM扫描电镜制样过程中需要特别注意的事

为了得到无损、真实而清晰的表面形貌结构，在扫描电镜样品制备的全过程中都B须十分小心，这里分享几个在SEM扫描电镜制样过程中需要特别注意的事:

①在样品制备时，应该把被观察面充分的暴露出来，同时需要保证被观察面无污染、无皱缩、无明显的人工损伤以及附加结构。

②在不导电材料表面镀重金属(金、铂、钯等）时，镀层“厚度”即要大于等于入射电子束进入样品的扩散深度，又不能掩盖样品本身的凹凸形貌结构。例如镀Au膜，一般在10万倍左右就能看见金颗粒，所以镀Au膜厚度尽量控制在10 nm以下，如果镀10 nm的导电膜导电性能仍然没有得到改善，继续镀膜也没有意义。

③通常情况下我们都选择镀Au膜，但是需要对样品进行严格的EDS定量分析，则不能镀金属膜，因为金属膜对X射线有较强的吸收，对定量分析结果影响较大。

④粉末样品的厚度要均匀，量不要太多，否则容易造成喷金样品的底层部分导电性能不佳。