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影响SEM扫描电镜成像的几大要素介绍
日期：2023-10-08 09:25:15 浏览次数：49
1、分辨率
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：A. 入射电子束束斑直径；B. 入射电子束在样品中的扩展效应；C. 成像方式及所用的调制信号。
2、放大倍数
Sem扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中，Ac—荧光屏上图像的边长；As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地，Ac 是固定的(通常为100 mm)，则可通过改变As 来改变放大倍数。目前，大多数商品扫描电镜放大倍数为20～20,000倍，介于光学显微镜和透射电镜之间，即SEM扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。
3、景深
扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，所得扫描电子像富有立体感。
4、衬度。衬度包括：表面形貌衬度和原子序数衬度。表面形貌衬度由试样表面的不平整性引起。
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