SEM 扫描电镜不同类型样品制备方法的介绍

SEM 扫描电镜不同类型样品制备方法的介绍：

块状样品

① 小块体样品直接固定在碳导电胶带上

② 块体较大或需要高分辨观测的样片，一般在碳导电胶带上固定后再在其四周刷碳胶或银胶，使固定更加牢靠，不易发生漂移

③ 样品表面固定碳胶带连接到样品台上，辅助固定，增加导电性

粉末样品

① 首要原则是粉量少

粉量过多的危害：

① 对仪器：表面浮粉易污染样品室、镜筒、甚至堵塞光阑

② 对操作者：表面浮粉并未直接接触导电胶带，在电子束的作用下有可能引起样品的移动且极易荷电，难以获取高质量图片，对观测和分析都带来影响

粉末样品-常规粉体

① 固定导电胶带，用牙签挑出少量粉体，将粉体弹到导电胶带上，用洗耳球/压缩空气吹掉浮粉，适量粉体

② 切勿将胶带直接按压在粉体中或用药匙取大量粉体按压在胶带上

粉末样品-小颗粒或易团聚粉体

① 用稀释溶剂对粉体进行稀释，一般为水、无水乙醇等

② 进行超声，时间一般为5-10min，视样品而定

③ 超声结束后立即取用，避免再团聚

④ 将稀释液滴在硅片或铝/锡箔纸上

⑤ 将样品放置于干燥箱或红外烤灯下烘干即可

截面样品-抛光

① 固定方式：树脂镶嵌法&金属夹板法

② 抛光方式：砂纸研磨&金刚石细抛&离子束精抛