SEM扫描电镜如何生成样品的表面形貌图像

扫描电镜通过以下步骤生成样品的表面形貌图像：

样品制备： 需要先将样品制备成适合在SEM扫描电镜中观察的形态。样品应该是坚硬、平整、干净的，并且可能需要进行导电涂层以减少电荷积累效应。

真空系统准备： 扫描电镜操作需要在高真空环境中进行，以避免电子束与气体相互作用。因此，需要启动真空泵以将SEM扫描电镜系统的压力降低到适当的真空级别。

样品安装： 将样品安装在扫描电镜的样品台上。样品台通常具有可调节的XY台移动功能，以便将样品表面映射到电子束的扫描区域。

电子束准备： 启动电子束并设置适当的电子束参数，如加速电压、聚焦、亮度等。这些参数将影响电子束的性质和聚焦效果。

扫描和成像： 将电子束扫描在样品表面上。在扫描过程中，电子束与样品表面的不同区域相互作用，产生次级电子（SE）和反向散射电子（BSE）等信号。这些信号会被探测器捕获。

信号采集和处理： 探测器捕获次级电子和反向散射电子等信号，并将其转化为电信号。这些信号被处理并送入图像显示系统，形成黑白图像或灰度图像。

图像显示和获取： 处理后的信号被送入图像显示器，显示出样品表面的图像。图像可以是灰度图像，其中不同灰度值对应于样品表面的不同高度或特性。

图像分析： 获取的图像可以通过图像分析软件进行进一步处理和分析。可以进行像素分析、轮廓提取、粒径分析、形貌分析等操作，以获取关于样品表面形貌和特性的更多信息。