SEM扫描电镜可以观察试样区域细节、连续观察、观察生物试样、进行动态观察、观察试样表面形貌

扫描电镜观察试样区域细节

试样在样品室中可动的范围非常大，而显微镜在其它方面的工作距离通常只有2-3cm，因此实际上，只有试样可以在二维空间中移动，但在扫描电子显微镜中是不同的由于工作距离大(可能大于20 mm)焦深大(比TEM大10倍)样品室的空间也很大因此，试样在三维空间(即三维平移、三维旋转)可以有六个自由度的运动而且具有较大的活动范围，便于观察不规则形状样品的各个区域。

SEM扫描电镜连续观察

扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测，放大倍数的变化范围非常大，并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广(连续可调5-20万倍)，一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高，无需再聚焦，特别便于事故分析。

SEM扫描电镜观察生物试样

因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较，由于用于观察的电子探针电流小，电子探针的束斑尺寸小(通常为5nm到几十纳米)，电子探针的能量也小(加速电压可以小到2KV)此外，它不会在固定处照射样品，而是通过光栅扫描照射样品因此，对一些生物样品进行观察是非常重要的，因为样品的损伤和污染程度都很小。

SEM扫描电镜进行动态观察

在扫描电镜中，成像信息主要是电子信息根据现代电子工业的技术水平，即使是高速变化的电子信息，也能不费吹灰之力地及时接收、处理和储存因此，可以进行一些动态过程观测如果样品室配有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀附件，则可通过电视装置观察相变和断裂强度的动态变化过程。

扫描电镜观察试样表面形貌

从试样表面形貌获得多方面资料，不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像，还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法，从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的，它是由近百万条记录逐个组成的因此，除了观察其表面形貌外，SEM还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析，选择的面积大小可以在10μm到3μm之间。

由于SEM扫描电镜具有上述特点和功能，扫描电镜越来越受到研究者的重视，得到了广泛的应用目前，SEM扫描电镜已广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医药、半导体材料及器件、地质勘探、病虫害防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定等领域工业生产中的产品质量鉴定和生产过程控制等。