SEM扫描电镜样品制备之样品热稳性要好，且不会被电子束分解

日期：2023-07-17 13:43:31 浏览次数：52

电子束下样品热稳性要好，且不会被电子束分解。在扫描电镜正常观察图像时，电子探针的束流通常为 nA 级别，所以对于大多数样品，受热不是问题。但对一些热敏材料会出现损伤，观察部位出现起泡、龟裂、孔洞(热损伤)，甚至有些样品在高温下分解，释放气体或物质(热分解)，当他们进入电镜内部，势必会影响电镜性能，甚至引起故障。

扫描电镜.jpg