SEM扫描电镜样品制备之样品导电导热性能要好

日期：2023-07-14 10:20:23 浏览次数：79

样品导电导热性能要好。扫描电镜聚焦成像时，电子束直接照射样品表面，如果样品材料不导电会产生荷电效应(也称充电效应)。负电荷电子局部积累，抑制入射电子和出射信号，引起图像变形和位移，无法进行聚焦。

台式扫描电镜ZEM15.jpg

解决方案：

针对不导电样品，可以采用喷镀碳或金属以提高材料的导电、导热性能，同时还能增强样品信号发出量。在样品表面喷镀导电膜，对能谱检测结果有所影响，针对有些无法喷镀的样品，可采用低真空模式观察样品以缓解荷电效应。