SEM扫描电子显微镜组成部分的介绍

日期：2023-03-24 14:08:33 浏览次数：85

电子光学系统：

　　组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。

　　作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。

信号收集和显示系统：

　　信号收集：二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器（波谱仪和能谱仪）

　　显示系统：显示屏有两个，一个用于观察，一个用于记录照相。

真空系统：

　　组成：机械泵、扩散泵

　　作用：保证电子光学系统正常工作，提供高真空度，防止样品污染，保持灯丝寿命，防止极间放电。

电源系统：

　　包括启动的各种电源，检测-放大系统电源，光电倍增管电源，真空系统和成像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。