SEM扫描电镜维护保养的内容的介绍（二）

镜筒衬管的维护和清洗

使用专用工具拆卸和清洗扫描电镜镜筒衬管，清洗前准备好镜筒衬管清洗棒、金属镜筒衬管拆卸工具和镜筒衬管光阑拆卸工具。

重装镜筒衬管光阑：使用无毛布或无毛手套。注意：在重新安装光阑组件与安装镜筒衬管之前，仔细检查清洗过的部件，不应留有有机物残渣。只能用小镊子来夹光阑。

光阑放在光阑帽内，当组件Z终安装在衬管内后光阑的较平滑一面应朝上，拧上光阑帽。

二次电子探测器维护

电子探测器维护包括三个主要组成部分，它们需要阶段维护。它们包括闪烁体本身、闪烁体固定圈和栅网。由于闪烁体经过二次电子长时间的轰击，会造成闪烁体表面污染，为此会造成闪烁体产生电荷积累而发生放电现象以及闪烁体发光效率降低，使图象的信噪比下降。

在观察图象时可以观察到SEM扫描电镜探测器的放电现象，在光栅扫描期间形成“脉冲闪烁”或“斑点”，有时即使在电子束关闭状态时也可在普通操作对比度下观察到这种放电现象。这些周期性出现的闪烁要与由于低信噪比引起的统计噪音和由于高对比度设置产生的光电倍增噪音区别开。当信号电平、信号质量及分辨率下降非常明显时，就应更换闪烁体了。

真空系统维护

扫描电镜物镜光阑杆、样品室门和发射室的“O”型圈暴露后应拆下清洗。只需要在样品室门打开时检查一下，如果沾有毛绒或灰尘只要简单地用酒精沾湿的无毛布擦拭整个“O”型圈即可。物镜光阑杆上的“O”型圈每次清洗后都需要涂抹很少量的硅树脂真空脂，应尽可能少量使用，不能涂多。

隔振和减震系统的维护

振动来源于外界和并且有赖于系统内部的稳定性。SEM扫描电镜系统抗振能力包括主动避振能力和被动避振能力。因此对减振避震系统的充分了解有利于提高维护意识。