SEM扫描电镜光阑的应用有哪些呢?
日期:2023-02-28 08:49:15 浏览次数:245
扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
SEM扫描电镜光阑简介
光阑是光学成像系统关机零件,在相机和显微镜中普遍使用,一般称作光圈。如果对光圈的概念不了解,说明对光学成像仪器装置还没入门。光阑要在多级透镜组的轴线上,光阑ZX务必与透镜轴心保持机械同心。扫描电镜的电子透镜系统也要使用光阑,并且光阑孔的尺寸可调。
扫描电镜光阑的作用:
1、过滤电子束中的远轴电子,减小电子透镜球差影响。
2、改变孔径角度,从而调节图像景深,并且减小电子透镜色差影响。
SEM扫描电镜光阑是消耗品:
一般光学仪器光阑设计是性的,即使是活动光阑,其寿命也是和机器终身寿命一致的。扫描电镜光阑不同,光阑材料采用铂金或者钼金,由于电子束具有很高能量,具有破坏力,并且光阑污染后需要高温灼烧(500-800℃),尤其高温灼烧,对光阑的损伤是Z大的。对因此光阑的寿命相对于扫描电镜寿命显得非常短。一般正常使用寿命为一年。
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