你知道SEM扫描电镜为什么需要镀膜吗？

对于不导电的材料，为何需要镀膜，这与扫描电镜的工作原理有关。SEM扫描电镜的工作原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像，获得测试样品表面形貌。而对于非导电样品，由于其绝缘电阻非常大，当其在电子束的连续扫描下时，表面会逐渐积累负电荷，形成相当高的负电场，排斥入射电子，二次电子发射不稳定，并随机偏转二次电子轨迹，影响探测器的接收，这时就会造成图像的晃动，图像亮点突变，或者是出现无规则的明亮条纹等现象，这些就是所谓的荷电效应，也称充电效应。在样品表面镀上一层导电薄膜就是为了解决这一问题。

扫描电镜样品表面镀上一层导电薄膜后可以提高样品的导电性，表面的负电荷通过导电膜释放入地，消除荷电现象。电荷释放的前提是膜层要与金属样品台连接，形成导电通道。目前实验室采用较多是离子溅射镀膜工艺，所镀导电材料选择较多的为C、Au、Pt。对于这三种元素均有其优缺点：

①C膜均匀性好、导电导热效率高，与Au、Pt想较来说其是Z经济的材料，只是C膜的二次电子的产率比较低，不适用于需要拍摄高倍图像的样品;

②Au膜的二次电子产率较高，覆盖性好，镀膜容易，是很常用的材料，但是Au膜颗粒较大，高倍下观察时会看到明显岛状结构，这是一种假象。镀Au膜适用于中低范围的分辨率、两万倍以下的图像;

③与Au膜相较而言，Pt膜消除荷电的能力次之，但其颗粒较Au膜小，对于高分辨率图像也适用。

总之，对于需要进行成分分析的样品来说，C膜的影响是很小的，但是对于不含所用导电材料的样品，镀导电膜对其分析结果的影响不会太大。当然除了以上三种导电材料还有其他导电材料。SEM扫描电镜在选择镀膜材料时可根据自身需要、常接触样品的特性及其成分来进行选择。