SEM扫描电镜中的光阑是如何清洗的呢？

光阑是Z接近电子束和磁透镜磁场的零件，而且光阑还是之电子枪室和样品室间Z小的通道。扫描电镜的真空中的主要污染物碳氢化物，会沉寂在光路零件表面，形成不导电层，累计静电荷，形成静电场和杂散磁场，从而影响电磁透镜磁场的Z小对称性，增加电磁透镜的象散，尤其物镜光阑的污染，对性能影响Z大。电子束变为椭圆，增加了Z小束斑尺寸，降低了电子光学分辨性能，在扫描作用下，过聚焦和欠聚焦时表现为图像向垂直方向拉长。消象散器可以在一定范围内，修正光阑污染。污染造成的象散超过修正能力，需要对清除零件表面的污染。

SEM扫描电镜的耗材当中，除了灯丝以外，光阑是Z贵的耗材。而且我们知道，影响光阑寿命的Z主要原因是灼烧，以及在灼烧过程中由于操作失误造成的损坏。因此为了更好的维护扫描电镜，尽可能的减少SEM扫描电镜真空污染，是日常工作中要非常注意的事情。同时，在选购扫描电镜时，选择涡轮分子泵真空系统，也是一种明智选择。