sem扫描电镜如何准备测试样品？

日期：2022-12-13 11:14:47 浏览次数：177

扫描电镜是一种平面形貌表征测试技术，具备一定的三维方向上的表征能力，但受限于电子探针的检测深度有限，在垂直于视场方向上景深一般不超过1μm，结合sem扫描电镜的测试原理，对于样品的要求主要有如下两点:

扫描电镜.jpg

1.样品表面起伏不大；

2.样品表面导电。

这就确定了制样的基本原则:

1、对于宏观粉末样品，直接平铺分散到导电胶上即可；

2、对于块状样品，则需要将待观察面朝上，且待观察面需要与样平台面保持平行，固定于样平台上。对于导电性差的材料，需要进行表面喷金或通过导电胶粘连样品表面和样平台的手段，*终目的仍然是保证待观察面的平整和导电。