sem扫描电镜下班或过夜停止工作前尽量做到以下几点哦
日期:2022-12-12 10:52:27 浏览次数:153
sem扫描电镜下班或过夜停止工作前尽量做到以下几点哦:(1) 关闭高压电源,因高压电源易引起电子线路中元器件的击穿、烧毁,高压关闭后既能节能又能减小设备的故障率,特别是减小高压发生器的故障率。
(2) 取出分析完的试样后,样品仓和交换仓全都要立即抽回真空,让样品仓尽快回到高真空状态,而不要处于低真空或环境状态,这样不仅可减少对样品仓和镜 筒的污染,以及缩短下次做样时的抽真空时间,也不会使水蒸气轻易地积聚在机械泵中,导致泵油混浊、质量变差、机械泵频繁维修。
(3) 如果在样品台上安装了热电效应的冷却台,系统处于夜间模式或长期待机时要拆下来。
(4) 拉大物镜焦距,即增大WD,可减小物镜的激励电流,即减少物镜的发热量。
(5) 把行扫描时间选长一点,让行扫描处在慢扫描状态,这样可减少行扫描发生器的充/放电次数。
(6) 选择大束斑,可减小聚光镜的激励电流,即减少聚光镜的发热量。
(7) 选择高放大倍率,可减小偏转线圈的激励电流,即减少偏转线圈的发热量。
(8) 降低样品台的Z轴或让样品台归零,或回原位,锁住摇杆或锁住Z轴,以防止误触发。
(9) 把电镜退到主界面程序,关闭显示屏幕、打印机和无线光电鼠标器等一些暂时不用的外围辅助设施电源。
(10) 关紧氮气瓶和用于波谱仪的P10气瓶的阀门,以减少氮气和P10气体的泄漏。
(11) ZUI后关闭实验室的照明电源和门窗。
当节日放长假时’除了要做好下班和过夜停止工作时所提到的注意事项外,还要以下几点。
(1)钨灯丝电镜在周末和放长假时可整机关闭,要用时再提前半小时开机,这样既安全又节能、降耗。
(2) 若是配置油扩散泵的电镜,则在关闭主机后,应再延长35min以上再关闭 冷却水源。若没有自动延时装置,则应人为地延长35min之后再关闭冷却水源,让 ODP中的油、物镜线圈和高压部件都能得到充分冷却,同时还可减少油蒸气对样品仓的污染和减缓泵油的氧化。
(3) 对于配置分子泵的电镜,在关闭主机后也应延长15min以上再关闭冷却水源。
(4) 对于场发射电镜,建议周末不要关机,如果放长假可考虑让电镜处在“stand by”状态,即只保留IGP工作,维持其电子枪的真空度,关闭其他电源,要用时提前半小时重新启动。
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