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用于SEM扫描电镜成像的样品制备的介绍

日期:2022-11-29 11:13:33 浏览次数:184

电子显微镜的基本原理是什么?材料研究和技术的进步需要能够对亚微米甚至更小结构进行成像的显微镜。光学显微镜由于其分辨率限制而无法在这种情况下使用。相反,我们需要使用更复杂的东西,如扫描电子显微镜或透射电子显微镜,其中分辨率可以达到亚纳米。

为了生成图像,电子显微镜使用电子。它们的波长比可见光小得多,这意味着可以分辨非常精细的结构并看到更多的细节。

使用电子意味着我们还可以访问不同的信号,如二次电子或反向散射,我们可以分析从样品中出来的X射线,以了解样品的组成。

在电子显微镜成像的样品制备中,我们要考虑什么?

扫描电镜.jpg

影响电子显微镜成像的可行性和质量的主要因素是样品的性质,尤其是其电导率。

SEM扫描电镜中,非导电或导电性较差的固体样品在成像前要涂覆,以防止它们积聚电荷,从而导致出现伪影。

对于非固体样品,制备过程更为复杂。干燥样品可以通过应用生物样品制备技术(如CPD或涂布前冷冻干燥)来制备。

具有不同水分含量的不可干燥样品可以在低真空或通过高真空冷冻技术成像。我们还可以在成像前将金属涂层涂覆到样品上,从而确保从中获得更好的信号。

选择合适的样品镀膜的好的方法是什么?

为了在制备过程中为样品选择合适的镀膜选项,我们需要查看成像过程中产生的信号。这涉及考虑主光束及其与样品的相互作用。

来自样品的响应通常由多个信号组成,包括二次电子,反向散射电子,X射线和散射发光。

使用扫描电镜时,二次电子和X射线有哪些常见用途,穿透深度是否会影响它们的实用性?
典型的SEM扫描电镜可以分析二次电子和反向散射。如果我们也有一个EDS探测器,我们也可以分析X射线。

有四种类型的二次电子,我们可能会从样品中接收响应。第YI种和第ER种类型的电子与样品的形貌有关。

接收到的**类电子来自样品的顶部表面。这些电子以非常高的角度离开样品,通常需要特定的镜头内探测器来收集和分析该信号。

普通的桌面扫描电镜只能检测第ER种类型的电子。这些电子通常与远光灯电压成像有关,并提供有关样品形貌和成分的信息。

穿透体积与所使用的光束电压有关,较高的光束电压导致更深入地渗透到样品中。

应用较低的电压使我们能够从样品的顶部表面获得信息,但这并不总是可能的。

如果我们没有完整的分析SEM扫描电镜功能,我们可能需要处理样品以将响应定位到顶层的表面。我们使用金属涂层 ( 通常是铁) 来做到这一点。