sem扫描电镜知识点汇总(一)

1.光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率更高只有约1500倍，扫描电镜可放大到10000倍以上。

2.根据De Broalie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关;在10 KV的加速电压之下，电子的波长仅为0.12A，远低于可见光的4000-7000A，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多，但是sem扫描电镜的电子束直径大多在50-100A之间，电子与原子核的弹性散射与非弹性散射的反应体积又会比原有的电子束直径增大，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描电镜高。

3.sem扫描电镜有一重要特色是具有超大的景深，约为光学显微镜的300倍，使得扫描电镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。

4.sem扫描电镜，其系统设计由上而下，由电子枪发射电子束，经过一组磁透镜聚焦聚焦后，用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后，通过一组控制电子束的扫描线圈，再透过物镜聚焦，打在样品上，在样品的上侧装有讯号接收器，用以择取一次电子或者背向散射电子成像。

5.电子枪的必要特性是高度要高、电子能量散布要小，目前常用的种类有三种，钨灯丝、六硼化镧灯丝、场发射，不同的灯丝在电子源大小，电流量，电流稳定度及电子源寿命等均有差异。

6.热游离方式电子枪有钨灯丝及六硼化镧灯丝两种，它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子格材料的功函数能障而逃离，对发射电流密度有重大影响的变量是温度和功函数，但因操作电子枪时均希望能以更低的温度来操作，以减少材料的挥发，所以在操作温度不提高的状况下，就需采用低功函数的材料来提高发射电流密度。

7.价钱更便宜使用很普遍的是钨灯丝，以热游离式来发射电子，电子能量散布为2eV，钨的功函数约为4.5eV，钨灯丝系一直径约100um，弯曲成V形的细线，操作温度约2700K，电流密度为1.75A/cm2，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。

8.六硼化镧灯丝的功函数为2.4eV，较钨丝为低，因此同样的电流密度，使用laB6只要在1500K即可达到，而目亮度更高，因此使用寿命便比钨丝高出许多，电子能量散布为1eV，比钨丝要好，但因laB6在加热时活性很强，所以心须在较好的直空环境下操作，因此仪器的购买费用较高。

9.场发射式电子枪则比钨灯丝和六硼化镧灯丝的亮度分别高出10-100倍 同时电子能量散布仅为0.2-0.3eV 所以目前市售的高分辨率扫描电镜都采用场发射式电子枪，其分辨率可高达 1nm 以下。

10.场发射电子枪可细分成三种:冷场发射式，热场发射式，及萧基发射式。

11.当在真空中的金属表面受到108V/cm大小的电子加速电场时，会有可观数量的电子发射出来，此过程叫做场发射，其原理是高电场使电子的电位障碍产生Schottkv效应，亦能使宽度变窄，高度变低，因此电子可直接"穿梭”通过此狭窄能障并离开阴极。场发射电子系从很尖锐的阴极的发射出来，因此可得很细而又且高由流密度的电子束，其亮度可达热游离电子检的数百倍，或甚至千倍。