扫描电镜精测出故障怎么办?日常维护要点介绍（一）

扫描电镜是当前众多领域必备的检测工具。由于sem扫描电镜结构复杂，需要多套系统配合工作，一日出故障，很难判断问题，所在日常维护很重要。这两期文章，小编将会就扫描电镜的维护与您分享一丢丢经验~

sem扫描电镜维护要点之一：设备各项参数的检查和记录

√做好使用记录，可以保证故障的可追溯性，便于故障排除

√将数据(设备的真空参数和各项电流参数)做成表格

扫描电镜维护要点之二：专业人员定期系统维护

√5x8小时工作的设备至少每年维护一次

√7x24小时工作的设备至少每半年维护一次

sem扫描电镜维护要点之三：房间温湿度检查

√每天检查

√房间温度应当控制在19~25℃(尤其夏季) 空调出故障时，及时关闭扫描电镜和水冷机

√房间湿度应当小于65%

湿度对sem扫描电镜的损害是一个长期缓慢又不易被发现的过程，潮湿地区需让抽湿机全天运转

常见危害案例:

曾经有客户反馈扫描电镜的自检程序报错，sem扫描电镜样品台不能初始化且图像异常。检查结果:前空调故障导致电路板上有大量冷凝水，进而对多块电路板及物镜造成损坏。所以要控制好房间的温度，发现空调有问题，及时关闭扫描电镜和水冷机。而湿度过高也会引发sem扫描电镜各种问题，如接口腐蚀等。

扫描电镜维护要点之四：真空泵定期检查和保养

√真空油泵的定期维护

每个月检查泵油的使用情况，确保油位在两个刻度线之间。用毛刷或者吸尘器清洁真空泵散热风扇。

√油泵的定期保养

每年更换油泵的泵油

√真空干泵的定期维护

检查真空泵工作时是否有异响，清洁真空泵散热风扇。

√干泵的定期保养

每年更换真空泵密封套件。

以上就是小编介绍的sem扫描电镜的维护要点啦!您的扫描电镜一直期待着您的日常关心哦~~下期我们将继续讲解扫描电镜日常维护剩余的几点注意事项，敬请期待