台式扫描电镜针对于磁性材料制样方法的详细介绍

在之前的文章中我们都已经详细介绍过台式扫描电镜了。这期我们讲用sem台式扫描电镜观察磁性材料制样方法，一般都需要先退磁，再做分析，其主要原因如下：

①一般台式扫描电镜的透镜和扫描线圈都是通过有序地调控其流经线圈的电流产生磁场而进行工作的，若样品本身带有磁性，会对电子光学系统的工作造成干扰。若样品磁性强，图像会模糊，衬度和分辨力都会变得很差，消像散器也起不了作用，则像散无法消除。

②磁性样品会使电子图像产生变形、扭曲，而且还会影响放大倍率和微观测量的精度，但对某些铁氧体材料还是可以直接放进样品仓中做分析，样品先要粘牢、紧固，确保可靠：其次工作距离要>10mm、能>15mm，用低加速电压、小束流，因为铁氧体的导电性较差。

③在样品台上个别粘贴不牢靠的磁性粉末颗粒，易被吸附到物镜下级靴孔隙或者电子光学通路中，这些敏感部位一旦被污染，电子光学的性能立即遭受破坏，只能拆卸清理和清洗。这种清理维护相对一般的清洗镜筒要麻烦得多，因这种有磁性的小颗粒很难被发现和清除。若确实要做这种样品的分析，建议先考虑退磁，然后可考虑烧成陶瓷块并经清洗后再做分析，否则会给台式扫描镜简带来灾难性的后果。

④磁性材料也会影响EDS和WDS的分析，当对某个点进行分析时，容易造成打偏、打歪等难定位的现象，也会造成参数的识别错误，从而使定量分析误差明显加大。有些sem台式扫描电镜厂家的资料介绍，其物镜是无漏磁的物镜级靴，可用于磁性样品的观察和EBSD分析。如有的采用半内透镜的设计，漏磁比较小，但要用于分析磁性样品也要非常小心谨慎。