sem扫描电镜的发展历史你了解吗

随着对微纳米技术的研究和材料分析的需要，扫描电镜在科研领域越来越重要，是光学显微镜无法比拟的。那么今天我们就给大家来讲述下sem扫描电镜的发展历史。

电子显微镜通常可分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜两类，是材料微观分析的重要工具之一，被广泛应用于材料、化工、医学、生物等各个领域。

电镜的发展历史

1924年：波粒二相性理论的提出

法国物理学家德布罗意指出：一切接近于光速运动的粒子均具有波的性质。人们由此联想是否可利用波长更短的电子波代替可见光成像？

1926年：磁透镜聚焦理论的提出

德国学者 H. Busch 提出了运动电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称的磁场对电子束具有聚焦作用。这为电子显微镜的发明提供了重要的理论依据。

1931年：**个电子图像的获得

德国学者Knoll和Ruska头次获得了放大12倍铜网的电子图像。证明可用电子束和磁透镜进行成像。

1931-1934年：**台透射电镜的诞生

1939年研制成功世界上**台商品透射电镜，分辨率优于 100埃；1954年进一步研制成功Elmiskop I型透射电镜，分辨率优于10埃。

1939年：**台商品透射电镜的问世

德国学者鲁斯卡等研制成功世界上**台透射电子显微镜，至1934年其分辨率达到了500 埃。鲁斯卡因为在电镜光学基础研究及以上贡献获得了1986年诺贝尔物理奖。

1935年：头次提出扫描电镜概念。

在透射电镜的基础上, 1935年德国学者诺尔头次提出了sem扫描电镜的概念，1952年剑桥大学Oatley等制作了出扫描电镜。

1965年：**台商品扫描电镜

1965年剑桥大学推出**台商品sem扫描电镜。目前其发展方向是场发射型高分辨扫描电镜和环境扫描电镜。