扫描探针显微镜与sem扫描电子显微镜功能，原理和用途上的区别介绍

扫描探针显微镜与扫描电子显微镜，虽然它们只有两个字的不同，但却是两种完全不一样的设备，那么这两种设备具体有哪些差异呢，下面小编给大家简单介绍下。

①从功能上来看，跟传统的显微镜比较，扫描探针显微镜具有非常高的分辨率，能够很轻易的就看到原子，并且其所得到的样品表面是真实，实时的高分辨率的图像，对于使用环境上，扫描探针显微镜的使用环境还是比较宽泛的，不仅能够在真空中正常使用，还能够在大气中或者低温，高温甚至是在溶液中也可以正常使用；而sem扫描电子显微镜它对于其使用的环境要求是较严苛的，样品是在高真空的条件下才可以进行正常检测。

②从原理上来看，扫描探针显微镜，因为它的工作原理是控制探针来进行扫描成像的，所以扫描的速度会受到一定的限制，检测的效率也会偏低于其他的显微技术。由于压电效应在保证能够精度定位前提下的运动范围较小（目前是很难突破100μm量级），而机械的调节精度又没有办法与之衔接，因此做不到像扫描电子显微镜那样大范围的连续变焦，对于定位与寻找样品特征结构也比较困难。目前扫描探针显微镜中很为广泛使用管状压电扫描器的垂直方向的伸缩范围比平面扫描的范围一般是要小一个数量级的，扫描的时候扫描器会随着样品表面的起伏而伸缩，如果被检测的样品表面的起伏超过了其扫描器的伸缩的范围，则会造成系统无法正常使用甚至是损坏探针。所以，扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度的要求较高。

③从用途上来看，扫描探针显微镜的应用领域是很广泛的，无论是在物理，化学，生物，医学等基础学科，还是在材料，微电子等应用学科中都有它的身影。而sem扫描电子显微镜其基本的功能就是对各种的固体样品表面进行高分辨的形貌观察，大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色，例如：生物学，植物学，地质学，冶金学等等。