扫描电镜验收分辨率测试方法：间隙测量法、有效放大率法和对比度法。

扫描电镜的分辨力要通过实验来检验，所以任何sem扫描电镜都有一个指标分辨率来表现扫描电镜的性能水平，所谓的接受分辨率一般不会差于指标分辨率。然而，目前sem扫描电镜的验收分阿辨率还没有标准的测试方法，通常有三种方法：间隙测量法、有效放大率法和对比度法。

①间隙测量法

差距测量在早期被大量使用，即使现在仍然使用这种方法用于扫描电镜的验收。此方法是以金粒子的样本，然后查找金粒子之间的间隙，以测量能量之间的很小间隙作为分辨率。

②有效放大率法

有效放大率是用电子显微镜的分辨率除以0.3 mm 得到的。如果分辨率是1.5 nm，有效放大率是20万倍。当使用这种方法测试分辨率时，在有效放大倍数（或稍大倍数）下拍摄金颗粒照片。

③边缘对比度法

随着对的宽度变得越来越窄，成像后，白线区域的亮度减小，黑色区域的亮度增加，这意味着图像中的黑白对随着宽度的减小而更接近中间灰色。直到后面一对非常密集，黑白线是明亮的线是完全不一清二线的。然后在线对的密度和相应的对比度之间有一条递减曲线，这是MTF曲线。