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浅述ZEM15原位扫描电镜（SEM）的各组成部件特点
日期：2022-07-21 17:15:50 浏览次数：271
sem电子扫描电镜是上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
sem电子扫描电镜具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等特点，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。从结构上看，主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。
下面咱们来了解下sem电子扫描电镜的各组成部件特点：
1、电子光学系统
该系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等，主要用于产生一束能量分布窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。
2、电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的电镜上，电磁透镜不可少。通常会装配两组：汇聚透镜和物镜，汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成象会焦无关；物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。扫描线圈的作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步，因为它们是由同一扫描发生器控制的。
3、信号探测处理和显示系统
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
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