钨丝扫描电镜介绍和影响钨丝扫描电镜性能的六个关键因素是什么？

钨丝扫描电镜获得优质的扫描图像和稳定EDS，WDS分析光束流，先使钨丝sem扫描电镜处于良好的状态，如电子光学系统轴好，仪器稳定性好，消除散射等。然后选择合适的工作条件，如加速度电压、光束流量、光束直径、正交孔、工作距离、样品倾斜角、消除样品电荷等。此外，图像质量还与样品的原子数、次电子的屈服率、样品的外观等有关。以下是影响图像质量和光束流的一些关键因素。

①电子光学合轴

钨丝扫描电镜的电子光学系统由电子枪、聚光镜、物镜和物镜光圈组成。电子枪可以机械调整或自动关闭。当轴闭合时，图像的亮度很高。

不同类型的钨丝sem扫描电镜有不同数量的物镜光圈。为了获得高分辨率的图像和稳定的束流，需要在更换和清洗物镜光圈后重新调整物镜光圈的位置，使物镜光圈的位置在物镜级靴的中心。这个调节过程叫做物镜光圈关闭。

光阑合轴是通过一个光阑的x，y方向发展移动旋钮进行自我调节，调节后我们通过分析图像聚焦，来观察图像信息是否有移动，如果高倍图像在聚焦过程中不发生图像以及移动，而且束流很大，说明光阑合轴良好。

②加速电压

加速电压是灯丝和阳级之间的电位差，它通过加速从电子源发射的电子来实现。

③聚光镜磁电流

传入电子束电流，称为光束流，由聚光灯的激发电流调节，强激发电流的光束流量较小，电子束直径小，图像分辨率高，信号噪声比降低。由 WDS 和 EDS 分析的较大光束通常由较小的激励电流调节。钨丝扫描电镜电子束直径的大小调整实际上是调整光束流的大小，因为光束点太小，光束流量也很大。有些钨丝sem扫描电镜不能通过调整聚光灯流的大小来调节光束流，只能通过不同的镜面光孔来调节光束流，这种光束流不能连续调节。

④物镜光阑
物镜的光圈对景深有明显的影响。20和100孔径的景深图像。右边是100个光圈的小景深图像。箭头指的是镜头的位置。左边是20孔的大景深图像。箭头清晰可见。
⑤工作距离
工作距离是影响图像分辨率和景深的重要因素。短工作距离可以获得高分辨率、小景深的图像。
⑥试样倾斜角
大试样倾斜角图像数据信号强、有立体感并可以通过改善导电性差的试样表面荷电现象。在测量结果图像信息特征长度单位或者EDS定量研究分析时，试样不要倾斜，如果倾斜了，要及时进行倾斜角度校正。