扫描电镜相关应用

扫描电镜是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途很为广泛的一种仪器。它可以进行如下基本分析：

1、观察纳米材料：sem扫描电镜具有很高的分辨率，可以观察组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。

2、材料断口的分析：扫描电镜景深大，图像富立体感，具有三维形态，能够从断口形貌呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

3、直接观察大试样的原始表面：sem扫描电镜能够直接观察直径100mm，高50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背散射电子像)。

4、观察厚试样：扫描电镜在观察厚试样时，能得到高的分辨率和真实的形貌。

5、观察试样的各个区域的细节：试样在样品室中可动的范围非常大，可以在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)，这对观察不规则形状试样的各个区域带来很大的方便。

6、在大视场、低放大倍数下观察样品，用sem扫描电镜观察试样的视场大：大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如刑事侦察和考古。

7、进行从高倍到低倍的连续观察：扫描电镜的放大倍数范围很广(从5到20万倍连续可调)，且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察，不用重新聚焦，这样很方便也节省时间。

8、观察生物试样：由于电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小，这一点对观察一些生物试样很重要。

9、进行动态观察：如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以观察相变、断烈等动态的变化过程。

10、从试样表面形貌获得多方面资料：因为扫描电子像不是同时记录的，它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。使得sem扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。

现在扫描电镜已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。