影响扫描电镜分辨率的因素

扫描电镜有多项性能和技术指标，例如：分辨率、放大倍率误差、低倍畸变、束流稳定性、样品污染率、真空度、换样品抽真空时间、开机到工作抽真空时间、样品台位移距离等，这些均有量化指标。其中，扫描电镜的分辨率、放大倍数等参数又是选购参考的重要点。

sem扫描电镜分辨率重要性

分辨率是扫描电镜很重要指标，它反映了仪器的综合性能。各种类型的扫描电镜分辨率不同，导致了仪器进入做微观领域的尺度有差异，这也是不同档次扫描电镜的卖点。用户很关心这个指标是否符合要求。对于厂家工程师来说，拍摄分辨率照片也是一项技术挑战，要把扫描电镜各个环节调整到很好的状态，选用几乎苛刻的操作条件，反复拍照，直到拿出满意照片为止。

影响扫描电镜分辨率因素：电子源，灯丝是电子源的提供者，也是扫描电镜很重要的部件，灯丝所发射电子的密度、束斑尺寸、能量分布将决定性影响扫描电镜的分辨率。

1、钨灯丝

钨灯丝具有结构简单、束流大、真空要求低、易更换等优点，但是由于其束流密度小、信噪比差、化学稳定性差、且使用寿命短(80-100h)，因此，在使用过程中需要高频率的更换灯丝，以确保扫描电镜保持较为稳定的分辨率。

 2、CeB6灯丝

CeB6灯丝亮度为1000A/cm2，是钨灯丝亮度的10倍，因此具有更高的分辨率。CeB6灯丝具有更好的抗干扰能力，工作温度为1800K，远低于钨灯丝工作温度(2800K)，灯丝挥发量相对较小，因此使用寿命基本都可达到1500h，如果再加以规范管理，使用寿命可进一步延长。

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