影响扫描电镜分辨率的主要因素有什么？

扫描电镜相信大家也不陌生，那么影响扫描电镜分辨率的因素有哪些呢？下面由小编介绍下

①入射电子束束斑直径：为SEM扫描电镜分辨本领的尤限。一般热阴尤电子枪的更小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子枪可使束斑直径小于3nm。

②入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而增大，从而降低了分辨率。

③成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短（10~100 nm左右），只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。

当以背散射电子为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，穿透能力强，可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用深度的30％左右)。在此深度范围，入射电子已有了相当宽的侧向扩展，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般在500～2000nm左右。

如果以吸收电子、X射线、阴尤荧光、束感生电导或电位等作为调制信号的其他操作方式，由于信号来自整个电子束散射区域，所得扫描像的分辨率都比较低，一般在l000 nm或l0000nm以上不等。

上面就是小编介绍的影响扫描电镜的分辨率的几个因素。