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SEM扫描电镜的工作原理

日期:2022-05-07 08:53:29 浏览次数:243

SEM扫描电镜是一种大型分析仪器,广泛用于观测各种固体物质的表面微观结构和组成。 

所谓的扫描是指图像从左到右,从上到下依次在图像元素扫描过程。与电视一样,它是由控制电子束偏转的电子系统完成的。

在电子扫描中,电子束从左到右的扫描运动称为行扫描或水平扫描,电子束自上而下的扫描运动称为帧扫描或垂直扫描。两者扫描速度完全不同,行扫描速度快于帧扫描速度,对于1000行扫描图像,速度比为1000。

电子显微镜的工作是进入显微观世界的工作。在微观世界中,这种微观并不叫微小,我们建议在微观技术中使用纳米作为共同的测量单位,以及1纳米×10-6mm。


 扫描电镜.png


SEM扫描电镜成像过程与电视成像过程有许多相似之处,但成像原理完全不同。传输镜采用成像电磁透镜进行一次性成像,而扫描电镜的成像不需要成像透镜,其图像在一定时间和空间顺序上逐点形成,并显示在外部显像管上。

二次电子成像是一种利用扫描电镜获取的各种图像中广泛使用的图像,其辨别能力也很高。我们以二次电子成像为例来说扫描电镜成像的原则。

电子枪发射的电子束高达30千伏,通过聚变透镜和客观透镜进行减小和聚焦,在样品表面形成具有一定能量、强度和斑点直径的电子束。在扫描线圈磁场的作用下,事故电子束以一定的空间和时间顺序在样品表面逐点扫描。由于事件电子和样品之间的相互作用,次要电子被逐出样品。由于二次电子收集尤的作用,可以汇集向四面八方的二次电子,然后加速尤加速到闪烁体,转换成光信号,通过光导管到光电管,使光信号转换成电信号。然后通过视频放大器放大电信号并传送到显像管的门,显像管调节管的亮度。因此,在折射屏幕上显示不同程度的反射样品表面外观的不同程度的光和黑暗的二次电子图像。

SEM扫描电镜中,样品上的事故电子束扫描和显像管荧光屏上的电子束扫描由普通扫描发生器控制。这确保了事件电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步,确保样品上的"点"在时间和空间上与荧光屏幕上的"图像点"对应,即所谓的"同步扫描"。一般扫描图像由近100万个图像单元组成,一个接一个地对应着物体,这就是为什么扫描电镜不仅能以二维图像的形式显示总体外观,还能显示样品局部范围内化学元素、光、电、磁等特性的差异。

上面的内容就是小编介绍的扫描电镜的原理,如果在实验过程中扫描电镜遇到什么问题也可以随时联系小编,下期再见哦