SEM扫描电镜的操作规范介绍

扫描电镜是用于观测组织或材料表面形貌的重要工具。以下是SEM扫描电镜的操作规范介绍：

一、准备阶段

样品准备：

确保样品已完全干燥。

准备必要的耗材，如样品台、导电胶带、镊子、剪刀和手套。

使用导电胶带将样品固定在样品台上，并确保样品牢固粘贴。操作过程中应佩戴手套，以防污染样品。

喷金镀膜：

由于生物组织等样品不具备导电性，需进行喷金镀膜处理，以增加形貌衬度。

喷金参数应根据实验室的具体设备进行调整，需提前与负责老师或技术人员确认。

二、安装样品台

打开电脑和软件：

启动电脑，双击扫描电镜的软件图标以打开软件。

连接SEM扫描电镜：

根据软件提示，点击“确定”以连接扫描电镜设备。

安装样品台：

点击右上角“快速换样”，根据弹窗指示，点击“确定”。此时样品台移动至规定位置。

点击交换仓“抽气”按键，开始交换仓抽真空操作，直至指示灯常亮，提示真空状态已完成。

点击交换仓“开/关传输门”按键，打开交换仓与样品仓之间的隔板。

打开样品杆锁扣，向内推进样品杆至底部，顺时针转动样品杆旋钮，锁定样品台并向外拉出样品杆，锁上锁扣。此时，样品台被样品杆从样品仓中取出至交换仓。

再次点击交换仓“开/关传输门”按键，关闭交换仓与样品仓之间的隔板。

点击交换仓“放气”按键，解除交换仓真空状态，然后打开交换仓，放入样品。

关上交换仓，依次执行“抽气”、“开/关传输门”推进样品杆操作。待样品台进入指定位置后，逆时针旋转样品杆旋钮，拉出样品杆，并关上隔板。

三、SEM扫描电镜观察

选择样品台：

点击软件右上角“工作”按钮，根据弹窗提示选择已安装的样品台。

开启束流：

点击软件右上角“打开束流”按钮，以开启电子束流。

导航拍照：

点击软件左下角“导航拍照”按钮，导入样品导航界面。

设置工作高度和样品高度：

根据样品的高度和类型，在Z轴输入窗口输入相应的数值，以界定工作高度和样品高度。

移动样品位置：

在样品导航界面用鼠标双击，以移动样品位置。这通常用于定位不同的样品。

在成像界面用鼠标双击，同样可以移动样品位置。这通常用于观察同一样品的不同位置。

图像调节：

使用鼠标滚轮进行图像的放大和缩小操作。

点击工具栏的相应按钮进行样品预览、亮度和对比度的调节。

在放大倍数较小时，可以点击工具栏的按钮进行自动聚焦和自动消像散。

在放大倍数较大时，采用手动聚焦。点击工具栏的“慢扫”和“选区”功能，将选区框移动至居中位置。然后按住鼠标右键左右滑动，以确定焦点位置（*清晰时）。取消“选区”后，该焦点将应用于整个视野。

四、注意事项

电源稳定：

确保电源稳定，避免电压波动过大，以保护扫描电镜设备和样品。

真空度要求：

在加高压前，真空度B须达到额定值。气体电离度大会损伤电子枪。

完成SEM扫描电镜观察后，应关闭高压，并等待至少30秒以上，待灯丝冷却后再进行放气操作，以保护电子枪。

样品台移动限制：

样品台在平面方向和上下方向都有额定移动距离。当移动到极限位置时，设备会发出报警提示。此时，应立即停止移动并往回移。

在向上移动样品台时，应缓慢操作，以防止坚硬样品撞击上方的探测器和极靴，从而损坏设备。

电子束与样品作用：

在扫描电镜观察过程中，电子束与样品会发生相互作用，激发出多种信号。这些信号包括二次电子信号（用于形貌观察）、背散射电子信号（用于区分微区成分）等。应根据观察目的选择合适的信号进行观察和分析。

综上所述，SEM扫描电镜的操作规范涉及样品准备、安装样品台、扫描电镜观察和注意事项等多个方面。只有严格按照操作规范进行操作，才能确保SEM扫描电镜设备的正常运行和观察结果的准确性。