扫描电子显微镜的光学原理是什么？

从原理上讲，扫描电子显微镜就是用非常精细的聚焦高能电子束扫描样品，激发各种物理信息。通过接收、放大和显示信息，可以观察到测试样品的表面形态。接下来小编将主要介绍一下扫描电子显微镜的光学原理。

当一束超细高能入射电子轰击和扫描样品表面时，激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续光谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见、紫外和红外区域的电磁辐射。同时可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是SEI)，其中许多配备了额外的检测器，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等。但特定仪器的特殊功能强烈依赖于合适的探测器，探测器的安装角度，即样品分析室的专业设计，对分析效果影响很大。为了获得较高的扫描电子显微镜分析质量，我们应该对各种功能机制有深入的了解。

ZEM扫描电子显微镜

电子枪发射的电子束被几个电磁透镜还原后，电子束到达样品并激发样品中的二次电子。探测器接收二次电子，通过信号处理调制显示器上的像素发光。由于电子束点的直径为纳米，显示器的像素超过100微米，因此这个像素在100微米以上发出的光代表样品上被电子束激发的区域发出的光。实现样品上该物点的放大。如果在样品的某个区域对电子束进行光栅扫描，并在时间和空间上对显示器像素的亮度进行相应的调制，就可以实现该样品区域微观形貌的放大成像。

文章来源：麦迪森Madison