SEM扫描电镜的工作原理介绍

日期：2023-12-05 09:55:07 浏览次数：73

扫描电镜的电子放大倍数可由十几倍连续变化到几十万倍。因此可以对样品的整个表面进行比较仔细的观察。

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SEM扫描电镜的根本原理是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征和观察。

扫描电镜的工作原理与光学显微镜或透射电镜不同，在光学显微镜和透射电镜下，全部图像一次显出，是“静态”的；而扫描电镜则是把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像，是研究三维表层构造的有利工具。